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[发明专利]低驱动电压阶梯型微悬臂梁结构优化设计方法与系统-CN201510454903.1有效
发明人：朱军华;苏伟;刘人怀;宋芳芳;黄钦文;恩云飞 -专利权人：工业和信息化部电子第五研究所
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明提供一种低驱动电压阶梯型微悬臂梁结构优化设计方法与系统，获取阶梯型微悬臂梁结构参数并设定阶梯型微悬臂梁无量纲宽度比，根据阶梯型微悬臂梁的无量纲参数关系式和静电力作用下阶梯型微悬臂梁变形的试函数，确定阶梯型微悬臂梁无量纲长度比及试函数系数，计算阶梯型微悬臂梁的驱动电压，根据阶梯型微悬臂梁结构参数、阶梯型微悬臂梁无量纲宽度比、长度比以及阶梯型微悬臂梁的驱动电压，确定阶梯型微悬臂梁结构优化设计方案。整个过程中，根据阶梯型微悬臂梁无量纲宽度比并利用阶梯型微悬臂梁的无量纲参数关系式，计算出阶梯型微悬臂梁无量纲长度比，最后计算出驱动电压，实现对低驱动电压阶梯型微悬臂梁结构优化设计的指导。
驱动电压阶梯悬臂梁结构优化设计方法系统

[发明专利]一种称量DNA分子质量的微悬臂梁装置-CN201610411763.4在审
发明人：班书昊;庞明军;李晓艳;蒋学东;席仁强;谭邹卿 -专利权人：常州大学
申请日： 2016-06-13 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： G01N5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种称量DNA分子质量的微悬臂梁装置，属于有机大分子质量的检测与称量领域。它包括悬臂固定端、装设于悬臂固定端上的微悬臂梁、装设于微悬臂梁上侧自由端的微位移传感器A、装设于微悬臂梁下侧自由端的微位移传感器B；微悬臂梁包括DNA分子吸附层和微悬臂梁骨架；DNA分子吸附层位于微悬臂梁骨架的上方，并通过微悬臂梁分界面相连；待称量的DNA分子放置于微悬臂梁的DNA分子吸附层的上表面上，且靠近微悬臂梁的自由端；DNA分子吸附层的厚度约为5‑10微米，微悬臂梁骨架由液晶高弹体组成，其厚度为200‑300本发明是一种结构简单、能够快速准确称量DNA分子质量的微悬臂梁装置。
一种称量 dna 分子质量悬臂梁装置

[发明专利]一种高灵敏度微型氢气传感器及其制备方法-CN201911273794.8有效
发明人：李红芳;丁桂甫 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种高灵敏度微型氢气传感器，包括：悬臂梁支撑结构；微悬臂梁氢敏材料支撑层，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第一端固定设置在所述悬臂梁支撑结构的上方，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第二端为自由端；微悬臂梁氢敏材料层，所述微悬臂梁氢敏材料层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的上方；微悬臂梁引出电极，所述微悬臂梁引出电极设置在所述微悬臂梁氢敏材料层一端的上方；柔性压敏电阻层，所述柔性压敏电阻层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端的下方，且与所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端轻接触；以及柔性压敏电阻电极，所述柔性压敏电阻电极设置在所述柔性压敏电阻层下方。
一种灵敏度微型氢气传感器及其制备方法

[发明专利]一种微悬臂梁传感器的共振激发方法-CN201210104927.0有效
发明人：刘铎;冯兆斌 -专利权人：山东大学
申请日： 2012-04-11 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G01D5/12 文献下载
摘要：一种微悬臂梁传感器的共振激发方法，属于微机电系统技术领域。微悬臂梁传感器是一种电容式微悬臂梁传感器，包括一个n型掺杂硅材料的微悬臂梁底座和一个与微悬臂梁底座平行放置的金属电极；微悬臂梁底座的一端设有与微悬臂梁底座一体的、同材料的无针尖探针，微悬臂梁底座和金属电极上分别设有脉冲电信号接入引线和直流偏压接入引线通过在微悬臂梁底座上加微悬臂梁探针共振频率分数倍的脉冲电信号以及在金属电极上加直流偏压，实现用低频脉冲电信号激发微悬臂梁探针的高频共振。本发明有效解决了微悬臂梁探针高频共振难以激发的问题，对基于微悬臂梁的传感器的发展具有重要的实用价值。
一种悬臂梁传感器共振激发方法

[发明专利]基于纳米抗体的微悬臂梁免疫传感方法-CN202110434147.1在审
发明人：张青川;饶得鹏;吴尚犬 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2021-04-20 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： G01N33/53 文献下载
摘要：一种基于纳米抗体的微悬臂梁免疫传感方法，该微悬臂梁免疫传感方法包括：在微悬臂梁上修饰纳米抗体；在修饰有纳米抗体的微悬臂梁中加入缓冲液和待检测样品；待检测样品与修饰有纳米抗体的微悬臂梁反应后记录微悬臂梁的尖端位移；根据微悬臂梁的尖端位移确定待检测样品的浓度。本发明用纳米抗体替代整个抗体分子固定到微悬臂梁金表面上的方法，来达到提高微悬臂梁免疫传感灵敏度的目的；与已有的微悬臂梁免疫方法相比，纳米抗体作为最小的具有完整抗原结合位点的实体，大大提高了微悬臂梁表面的受体密度
基于纳米抗体悬臂梁免疫传感方法

[发明专利]基于微悬臂梁的土壤湿度监测方法、装置、设备及介质-CN201911391153.2在审
发明人：胡蔚萌 -专利权人：武汉市陆刻科技有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： G01Q60/28 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于微悬臂梁的土壤湿度监测方法、装置、设备及介质。包括：检测压电微悬臂梁的状态，记录压电微悬臂梁的初始共振频率；实时检测压电微悬臂梁的状态，当检测到水分子附着在压电微悬臂梁上时，获取压电微悬臂梁的数据，并根据压电微悬臂梁的振动方程计算压电微悬臂梁共振频率；通过压电微悬臂梁共振频率与初始共振频率计算压电微悬臂梁的共振频率改变量，根据该共振频率改变量对土壤湿度进行分析。本发明通过在压电微悬臂梁上面涂抹测量水分子的涂层，通过水分子吸附到压电微悬臂梁上，来使压电微悬臂梁上产生振动，根据共振频率的改变量来对土壤的湿度进行分析。
基于悬臂梁土壤湿度监测方法装置设备介质

[发明专利]静电驱动阶梯型微悬臂梁结构评价方法与系统-CN201510451909.3在审
发明人：朱军华;苏伟;刘人怀;宋芳芳;黄钦文;恩云飞 -专利权人：工业和信息化部电子第五研究所
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明提供一种静电驱动阶梯型微悬臂梁结构评价方法与系统，基于阶梯型微悬臂梁的结构参数，计算阶梯型微悬臂梁无量纲宽度比，再利用阶梯型微悬臂梁无量纲参数关系式和静电力作用下阶梯型微悬臂梁变形的试函数，计算阶梯型微悬臂梁无量纲长度比，最终获得阶梯型微悬臂梁非静电力作用区的最优长度计算值，当阶梯型微悬臂梁非静电力作用区的长度等于最优长度计算值时，阶梯型微悬臂梁结构达到最优，即表明当前阶梯型微悬臂梁结构对应的驱动电压已达到最低。整个过程中，处理过程简单、计算量小，采用严谨的数据处理计算过程，实现对静电驱动阶梯型微悬臂梁结构的评价。
静电驱动阶梯悬臂梁结构评价方法系统

[发明专利]基于镂空微悬臂梁的光学传声器及传声系统-CN202310410110.4在审
发明人：田申;李磊;冯铭扬;乔莹莹;高杨;单崇新 -专利权人：郑州大学
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H04R23/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了基于镂空微悬臂梁的光学传声器及传声系统；光学传声器包括镂空微悬臂梁部件，镂空微悬臂梁部件包括：振膜本体；微悬臂梁，设置与振膜本体连接；微悬臂梁上设置有降低微悬臂梁的弹簧系数的镂空结构。该镂空结构能够降低微悬臂梁的质量和弹簧系数，在声波作用下更容易发生形变，但是不影响微悬臂梁的谐振频率和光学传声器的频响带宽，有效提高了微悬臂梁和光学传声器的检测灵敏度，而且，镂空微悬臂梁结构简单，形状、
基于镂空悬臂梁光学传声器传声系统

[发明专利]内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法及一种检测方法-CN201910035090.0在审
发明人：郝秀春;蒋纬涵;汪赟;陈忠位 -专利权人：江苏大学
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法及一种检测方法，属于MEMS领域。本发明中的内嵌通道式微悬臂梁与传统的微悬臂梁有所不同，是在微悬臂梁的内部形成微通道，将微流控芯片集成于微悬臂梁传感器内。此种微悬臂梁是采用一种基于SON结构的加工方法来制造的，可以同时形成微通道和盖板。同时与微流控芯片技术结合起来，可以实现微纳粒子、细胞等的分离、监测与检测。微悬臂梁总体结构包括：微悬臂梁的固定端、内嵌通道、内嵌通道的衬底和盖板，以及内嵌通道的入口和出口。本发明是一种新型的微悬臂梁，加工方法更加简洁，将微流控芯片技术与微悬臂梁传感器技术相结合，应用领域大大增加，同时检测精度也极大地提高。
微悬臂梁内嵌微流控芯片微悬臂梁传感器通道式微通道种检测盖板加工技术结合传统的固定端悬臂梁检测衬底粒子细胞监测出口制造

[发明专利]柔性压阻式微悬臂梁传感器及其制作方法-CN201810361327.X在审
发明人：于晓梅;田源;王阳 -专利权人：北京大学
申请日： 2018-04-20 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01D5/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性压阻式微悬臂梁传感器，所述柔性压阻式微悬臂梁由力敏电阻、柔性力敏电阻上保护层和力敏电阻下保护层组成。所述柔性压阻式微悬臂梁传感器至少配备有一组惠斯通电桥传感单元，所述惠斯通电桥传感单元由四个完全相同的力敏电阻和四个微悬臂梁构成，其中两个所述微悬臂梁表面淀积有金薄膜用作测量微悬臂梁，另外两个微悬臂梁作为参考微悬臂梁，所述四个微悬臂梁下设置有一微反应池。本发明由于采用柔性力敏电阻上保护层材料，避免了修饰和检测过程中微悬臂梁的断裂。由于采用p型单晶硅作为力敏电阻材料，保证了微悬臂梁传感器的灵敏度。本发明提出的柔性压阻式微悬臂梁传感器可实现对生物、化学分子的高灵敏和高特异性检测。
微悬臂梁压阻悬臂梁传感器力敏电阻惠斯通电桥传感单元上保护层柔性力电阻微悬臂梁传感器特异性检测表面淀积化学分子微反应池下保护层金薄膜灵敏度悬臂梁修饰断裂灵敏测量参考检测配备制作保证

[发明专利]平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法-CN201110072710.1有效
发明人：陶亦涵;于海涛;许鹏程;徐铁刚;熊斌;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2011-03-24 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法。其中，所述微悬臂梁结构包括：悬臂梁区、连接在所述悬臂梁区一侧的质量块区、及连接在所述悬臂梁区另一侧的参考电阻区，其中，所述悬臂梁区包括：相互分离的主悬臂梁、驱动微梁和敏感微梁，其中，驱动微梁作为驱动电阻，与驱动电源连接，敏感微梁作为敏感压阻，与所述参考电阻区所具有的多个电阻区共同形成电桥；所述驱动微梁与敏感微梁的宽度均远小于主悬臂梁的宽度。该结构工作在平面内谐振模态，通过激励微悬臂梁的平面内谐振模态可减少其在液体环境中工作的阻尼力，提高品质因数，进而改善传感器的检测灵敏度。
平面谐振拉直悬臂梁结构制备方法

[发明专利]内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法-CN201910036305.0在审
发明人：郝秀春;蒋纬涵 -专利权人：江苏大学
申请日： 2019-01-15 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法，属于MEMS领域。本发明是在微悬臂梁的内部形成微通道，将微流控芯片集成于微悬臂梁传感器内，并且两个及以上微悬臂梁的自由度相连。此种微悬臂梁的并联结构是采用一种基于SON结构的加工方法来制造的，可以同时形成微通道和盖板。同时与微流控芯片技术结合起来，可以实现微纳粒子、细胞等的分离、监测与检测。微悬臂梁总体结构包括：微悬臂梁的固定端、内嵌通道、内嵌通道的衬底和盖板，以及内嵌通道的入口和出口。本发明是一种新型的微悬臂梁结构，加工方法更加简洁，将微流控芯片技术与微悬臂梁传感器技术相结合，应用领域大大增加，同时检测精度也极大地提高。
微悬臂梁内嵌微流控芯片并联结构微悬臂梁传感器微通道盖板加工技术结合固定端检测衬底粒子细胞监测出口制造

[发明专利]双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器以及探测方法-CN201210371261.5有效
发明人：姜利军 -专利权人：姜利军
申请日： 2012-09-29 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器以及探测方法。所述双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内。本发明的优点在于，通过在悬臂梁上设置加热器，并通过对每个微悬臂梁单独提供不同的加热温度，对微悬臂梁之间的响应率和灵敏度的非均匀性加以校正。
材料悬臂梁电磁辐射探测器以及探测方法

[实用新型]双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器-CN201220505673.9有效
发明人：姜利军 -专利权人：姜利军
申请日： 2012-09-29 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器。所述双材料微悬臂梁，设置于一衬底表面，包括：微悬臂梁主体；第一应力凸块，所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的靠近衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数大于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数，或者所述第一应力凸块设置在微悬臂梁主体的远离衬底一侧的表面上，并且所述第一应力凸块的热膨胀系数小于所述微悬臂梁主体的热膨胀系数；加热器，所述加热器设置在悬臂梁主体内。本实用新型的优点在于，通过在悬臂梁上设置加热器，并通过对每个微悬臂梁单独提供不同的加热温度，对微悬臂梁之间的响应率和灵敏度的非均匀性加以校正。
材料悬臂梁电磁辐射探测器

[发明专利]一种二维纳米尺度光子晶体力传感器-CN201410074823.9有效
发明人：李隆球;张广玉;李天龙;纪凤同 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2014-03-03 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： G01L1/24 文献下载
摘要：它包括一号微悬臂梁传感器、二号微悬臂梁传感器、和纳米谐振腔，纳米谐振腔分别嵌在一号微悬臂梁传感器和二号微悬臂梁传感器上；所述一号微悬臂梁传感器为长方体的平板结构，二号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的XOZ平面上，一号微悬臂梁传感器位于三维直角坐标系的YOZ平面上，所述一号微悬臂梁传感器垂直二号微悬臂梁传感器，所述一号微悬臂梁传感器位于二号微悬臂梁传感器两条短边的中心连线上，且一号微悬臂梁传感器一个侧面与二号微悬臂梁传感器首端侧面位于同一平面内
一种二维纳米尺度光子晶体传感器

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